真空箱式气氛炉真空度分析

真空箱式气氛炉真空度分析

真空箱式气氛炉简介：

真空箱式气氛炉是一款箱式电阻炉做密封处理，加装进出气装置，实现预抽真空及通入保护气氛的箱式电阻炉。

真空箱式气氛炉分类：

1、按照设计温度划分：1200℃系列、1400℃系列、1700℃系列、1800℃系列、2000℃以上系列

2、按照真空度高低划分：低真空系列、高真空系列

真空箱式气氛炉结构分析：

1、普通箱式电阻炉整体外壳密封处理，一般采用外壳钢板焊接，炉门采用硅胶密封条；炉膛材质一般为氧化铝纤维材质；此类真空气氛炉一般真空度不会太高，因为炉膛材料结构不够致密有空隙，很难把真空度抽到很低，一般真空在100Pa以上；如果实现高真空需要配置机械真空泵加扩散泵组实现

2、高温真空箱式气氛炉一般采用石墨加热方式，外壳带有水冷降温系统；此类真空箱式气氛炉可以实现高温、高真空

3、还有一种是高频感应加热类真空箱式气氛炉，加热采用电频加热，水冷壳体设计，此类也可以实现高温，高真空

真空箱式气氛炉真空度的实现：

1、低真空一般采用单级机械真空泵抽取

2、高真空一般采用机械真空泵+扩散泵或者分子泵实现